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阶梯式多级硅料清洗设备制作方法
专利
专利摘要: 一种阶梯式多级硅料清洗设备,包括初级清洗槽、过渡清洗槽、最后清洗槽、进水阀、过滤处理池、循环泵、分隔堤和污液槽,在每个初级清洗槽和过滤清洗槽中都设有分隔网板,将清洗槽分隔成清洗室和溢污室,后道清洗槽溢出的清洗液流入上道清洗槽中作为清洗液的补充,溢污室上表面漂浮的污水经软管流入过滤处理池进行二次处理,经处理过的清洗液再由循环泵抽送到初级清洗槽中,作为初级清洗槽的清洗液。经申请人实际使用验证,采用本实用新型的阶梯式多极硅料清洗设备,每吨硅片清洗的耗水量只需3吨,比现有清洗机节水5吨以上,节水效果十分显著,避免了因清洗槽独立用水而造成的水资源浪费。
胡娟
金牌知产顾问
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